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產(chǎn)品名稱:
杉本有供 HORIBA流量控制器D500
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概要
**的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
特征
杉本有供 HORIBA流量控制器D500
的詳細介紹
**的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應(yīng)系統(tǒng)
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍
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G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
先進G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力
先進的三維調(diào)節(jié)已改進工藝氣體的流量精度
響應(yīng)速度＜0.8秒
已實現(xiàn)精準且穩(wěn)定的流量控制
控制范圍：0.2% F.S. ~ 100% F.S.
制造: HORIBA STEC